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Publikationsnummer E103P001
Autor Löbmann, P.; Röhlen, P.
 
Titel
Industrielle Herstellung von TiO2-Dünn- schichten aus löslichen Vorstufenpulvern
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Industrial processing of TiO2 thin films from soluble precursor powders. Kurzreferate aus Glass Science and Technology
 
Stichworte
 
Journal Glass Sci. Technol.
Veröffentlichungsjahr 2003
Band 76
ISS 1
Seite 1-7
 
Kurzbeschreibung
Für die nasschemische Herstellung von TiO2-Dünnschichten wurden lösliche, amorphe Vorstufenpulver entwickelt. Durch Mehrfachbeschichtung konnten mit diesem Verfahren auf Borosilicatglas bis 800 nm und auf Nickellegierungen bis zu 2 æm Gesamtschichtdicken erreicht werden. Die optische Brechzahl des Materials liegt bei 2,3. Der Einfluss von Lösungsmittelzusammensetzung, Ziehgeschwindigkeit und Aufarbeitungstemperatur auf Schichtqualität, Dicke und optische Eigenschaften wurde systematisch untersucht. Alle Parameter konnten für ein großformatiges industrielles Beschichtungsverfahren optimiert werden.
Aufgrund der Langzeitstabilität der Vorstufenpulver und der daraus hergestellten Beschichtungslösungen ist der gesamte Prozess sehr gut für die kommerzielle Produktion optischer Interferenzfilter geeignet, die eine hohe optische Qualität der resultierenden Schichten und exzellente Substrathaftung sowie gute Verträglichkeit mit anderen Schichten aufweisen.Glass Sci. Technol. 76 (2003) No. 1, S. 1 (E103P001)
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Soluble, amorphous powders were prepared as precursors for the sol-gel processing of TiO2 films. Layers of up to 800 nm and 2.0 æm were prepared on borosilicate glass and Ni-alloy by multiple coating, respectively. A refractive index of 2.3 was achieved. The interdependency of parameters such as solvent composition, withdrawal rate, thermal treatment with film quality, thickness and optical properties was investigated. The conditions were optimized for large-area coatings on an industrial scale.
The overall process is highly advantageous for industrial production of optical interference filters due to the long-time stability of precursor powders and sols, high optical quality of the resulting films, excellent substrate adhesion and good compatibility with other sol-gel films.
 
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